设备名称：6英寸手动探针台

设备型号：MPS150

真空运行平台：155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm
标准平台：155mm x 155mm 2μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 250mm
快速运行平台：155mm x 155mm 1μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 275mm

适用对象：器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量