设备名称：钨丝灯扫描电镜

设备型号：TESCAN VEGA3

放大倍数：2~1,000,000x

分辨率：高真空（SE）： 3 nm @ 30 kV / 2 nm @ 30 kV；8 nm @ 3 kV / 5 nm @ 3 kV

低真空模式（LVSTD，BSE）：3.5 nm @ 30 kV / 2.5 nm @ 30 kV